4400M百姓彩神
概要
所谓百姓彩神是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响,如需要准确测定时,要对温度和压力进行调整。而百姓彩神在测定流体质量的时候,不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。
技术参数
型号:SEC-E40/E40MK3、SEC-E50/E50MK3、SEF-E40、SEF-E50
适用气体种类:非腐蚀性气体MK3型号适用于N2、O2、Air、H2、Ar、He
气体接触部材质:SUS316氟化橡胶、PTFE、磁性不锈钢
阀门型号:非通电时关闭
标准流量量程:10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM、1/2/3/5/10SLM、20/30SLM
流量控制范围(适于SEC系列):百分之"2?100FS
流量测量范围(适于SEF系列):百分之"0?100FS
响应速度:1秒以内(T98)
流量精度:正负百分之"1~百分之"二的FS
直线性:正负百分之"零点五的FS
反复性:正负百分之"零点二的FS
工作差压值值(适于SEC系列):10 SCCM?5 SLM:50~300kPa(d) 10~30 SLM:100~300kPa(d)
使用压力(适于SEF系列):300kPa(G)以下
耐压:1MPa以下
外部泄漏率:1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度:5?50℃
流量设定信号:0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号:0?5VDC(负荷大于等于电阻2kΩ)
驱动电源:+15VDC ±百分之"5 50mA −15VDC ±百分之"5 200mA 3.9VA
标准接头: 1/4SWL类型