概要
基于多年的市场发展经验,我们提供了一系列符合客户需求的百姓彩神产品。
气体被运用于不同的工业领域,从太阳能电池、燃料电池的研究和制造,到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管(LED)的研究和制造。在这些制造工艺中,对不同气体的流量进行准确的测量和控制增加了工作效率,进而节约了能源和增加了生产力。
型号
10sccm |
10SLM |
20SLM |
100SLM |
200SLM |
SEC-N102 |
SEC-N112 |
SEC-N122 |
SEC-N132 |
SEC-N142 |
SEC-N104 |
SEC-N114 |
SEC-N124 |
SEC-N134 |
SEC-N144 |
SEC-N106 |
SEC-N116 |
SEC-N126 |
SEC-N136 |
SEC-N146 |
特征
SEC-N102 系列
数字式信号传输:RS485 F-NET协议
模拟式信号传输:0~5VDC ±15VDC(百分之"±5)
SEC-N104 系列
设备网信号传输:遵照ODVA标准
SEC-N106 系列
PROFIBUS 信号传输
模拟式信号传输:0至5VDC,0至10VDC 4至20mA
遵照PROFIBUS标准
24VDC(13 to 32VDC)
此型号满足从小流量到大流量的需要。
流量控制范围为标定满量程的≥2且≤100
精度
精度MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对流量控制范围的精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步增加,不同工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。
整个流量控制范围内都可实现高响应速度
对于设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时,可变PID将根据当下的设定不断变化,其PID参数也将随之"被优化。
多气体、多量程的解决方案
软件赋予用户可以自由改规格的能力,多气体、多量程系统使用户自由变气体种类和量程成为可能。