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产品展示
型号 | 气体接触部材质 | 阀门类型 | 标准流量量程 | 流量控制范围 | 流量精度 |
SEC-310 | SUS-316、氟化橡胶 |
NO:非通电时:开; NC:非通电时:关 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM | >2%FS(满量程) | ±1%FS(满量程) |
SEC-320 | SUS-316、氟化橡胶 |
NO:非通电时:开 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM | >2%FS(满量程) | ±1%FS(满量程) |
SEC-405 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM:N2、Ar、H2、O2、CO2、CH4、C3H8 | >2%FS(满量程) | ±0.5%FS(满量程) |
SEC-410 | SUS-316、氟化橡胶 |
NO:非通电时:开; NC:非通电时:关 |
10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM | >5%FS(满量程) | ±1%FS(满量程) |
SEC-510 | SUS-316、氟化橡胶 |
NO:非通电时:开; NC:非通电时:关 |
10/20 SLM | >5%FS(满量程) | ±1%FS(满量程) |
SEC-510A | SUS-316、氟化橡胶 |
NO:非通电时:开; NC:非通电时:关 |
30/50 SLM | >5%FS(满量程) | ±1%FS(满量程) |
SEC-520A | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 30/50 SLM | >5%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
SEC-551 | SUS-316、氟化橡胶 |
NO:非通电时:开; NC:非通电时:关 |
30/50/100 SLM | >5%FS(满量程) | ±1%FS(满量程) |
SEC-552 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 30/50/100 SLM | >5%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
SEC-610 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 50/100/150 SLM | >10%FS(满量程) | ±1%FS(满量程) |
SEC-620 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 50/100/150 SLM | >10%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
SEC-623 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 150/200 SLM(H2:300SLM) | >10%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
SEC-400MK2 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5SLM | >5%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
SEC-500MK2 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 10/20 SLM | >5%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
SEC-400MK3 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM:空气、N2、O2、Ar、H2、He | >5%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
SEC-500MK3 | SUS-316、氟化橡胶 | NO:非通电时:开 | 10/20 SLM:空气、N2、O2、Ar、H2、He | >5%FS(满量程) | ±2%FS(满量程) |
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