百姓彩神

概要
       它是搭载有温控阀的基本型号。
       利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
       SEC-405可以进行正负百分之"零点五的FS的流量控制。

特征
       可对应正负百分之"零点五的FS，SEC-405（气体种类限定）；
       同系列产品，从0.1CCM至200SLM（N2）都可进行流量控制；
       实现面间距离106mm，SEC-300型式。

规格

型号	气体接触部材质	阀门类型	标准流量量程	流量控制范围	流量精度
SEC-310	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开； NC：非通电时：关	5/10/20/50/100/200/500 SCCM	>2%FS（满量程）	±1%FS（满量程）
SEC-320	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	5/10/20/50/100/200/500 SCCM	>2%FS（满量程）	±1%FS（满量程）
SEC-405	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM：N2、Ar、H2、O2、CO2、CH4、C3H8	>2%FS（满量程）	±0.5%FS（满量程）
SEC-410	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开； NC：非通电时：关	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM	>5%FS（满量程）	±1%FS（满量程）
SEC-510	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开； NC：非通电时：关	10/20 SLM	>5%FS（满量程）	±1%FS（满量程）
SEC-510A	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开； NC：非通电时：关	30/50 SLM	>5%FS（满量程）	±1%FS（满量程）
SEC-520A	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	30/50 SLM	>5%FS（满量程）	±2%FS（满量程）
SEC-551	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开； NC：非通电时：关	30/50/100 SLM	>5%FS（满量程）	±1%FS（满量程）
SEC-552	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	30/50/100 SLM	>5%FS（满量程）	±2%FS（满量程）
SEC-610	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	50/100/150 SLM	>10%FS（满量程）	±1%FS（满量程）
SEC-620	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	50/100/150 SLM	>10%FS（满量程）	±2%FS（满量程）
SEC-623	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	150/200 SLM（H2:300SLM）	>10%FS（满量程）	±2%FS（满量程）
SEC-400MK2	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5SLM	>5%FS（满量程）	±2%FS（满量程）
SEC-500MK2	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	10/20 SLM	>5%FS（满量程）	±2%FS（满量程）
SEC-400MK3	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM：空气、N2、O2、Ar、H2、He	>5%FS（满量程）	±2%FS（满量程）
SEC-500MK3	SUS-316、氟化橡胶	NO：非通电时：开	10/20 SLM：空气、N2、O2、Ar、H2、He	>5%FS（满量程）	±2%FS（满量程）