百姓彩神

规格
       SEC-Z512X和SEC-Z522X数字式/模拟式百姓彩神，适用于50slm N2标称流量。
       SEC-Z532X和SEC-Z542X数字式/模拟式百姓彩神，适用于200slm N2标称流量。
       SEC-Z514X和SEC-Z524X Devicenet百姓彩神，适用于50slm N2标称流量。
       SEC-Z534X和SEC-Z544X Devicenet百姓彩神, 适用于200slm N2标称流量。

概要
       百姓彩神是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

特征
       精度：设定流量值正负百分之"一。
       MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的，在各控制范围内获得高的控制精度。为了改变实际气体种类的控制精度，研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集不同制程气体的校准数据。

高速响应
       SEC-Z500X使用了可改PID系统，让两个设定流量点之"间的改在1秒钟之"内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。

复合气体、复合流量方案
       STEC新产品能现场改气体种类和流量，Z500设置软件简单、易用。这些不需要将MFC从系统拆卸下来。